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              公主肚兜下的浑圆被揉捏NP
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              扩散炉

              全自动扩散炉

              Abstract: 全自动扩散炉
              产品详情:


               

              一.设备概述:

              全自动扩散炉采用电脑工控机软件控制方式,该设备用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金和烧结等工艺。设备主要适合于3-6英寸工艺硅片的处理,具有多条工艺曲线,调用方便快捷;运行中,具有停电记忆功能触摸微机界面,操作方便;具有超温?;すδ?。 
               
               二.设备主要特点和优势
               1★具有强大的软件功能,友好的人机界面,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态;配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间; 
               2★采用可靠性工控机+PLC模式,对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化; 
               3★程序可以实现手/自动工作,在停电或中途?;?,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间; 
               4★具有多种工艺管路,可供用户方便选择; 
               5★冷端采用PT100检测环境温度进行温度补偿,避免环境温度变化,对炉膛温度产生影响,避免层间干扰; 
               6★推拉舟控制采用高速脉冲闭环控制,避免马达丢步,运行颤抖现象。推拉舟运行完一个周期,自动校准位置,有效防止定位偏差; 
               7★气体流量控制精确,采用模拟信号闭环控制,强弱电分开,各种数据交互采用标准总线,提高抗干扰能力,保证数据安全;气体打开具有缓启动功能; 
               8★具有多种报警功能及安全?;すδ?;
               9★恒温区自动调整,串级控制,可准确控制反应管的实际工艺温度;

              三.设备参数类型:

              方式:

              左/右手操作方式,大工作台面(侧面采用高效净化)

              可配工艺管数量:

              1-5管系统

              净化台洁净度:

              100级(10000级厂房)

              气体流量控制: 

              均用MFC控制

              送取片方式: 

              自动推拉,采用碳化硅浆推拉舟,软着陆方式 

              使用类型:

              3-6寸炉管

              工作温度: 

              600~1290℃ 

              炉管有效口径:

              ¢150-300mm

              总功率:

              18-28KVA/管   保温功率:8-15KVA/管 

              三相五线制: 

              380V±10%,50Hz±10%,次级线不小于35平方高温线 

              报警:

              具有超温报警,断偶报警,气体互锁,气体缓启动等功能 

              恒温区长度及段数: 

              400-1100mm(3-5段控温) 

              控温精度: 

              ±0.5℃(≧1000℃) 

              单点温度稳定性: 

              ±1℃/12h
              + / - 1 ℃ / 12 h

              控温方式: 

              工控机 + PLC控制 + 触摸屏 

              热偶类型:       

              热电偶采用S/R型,每管Spike 4-10支热偶 

              最大可控升温范围: 

              (500~1285℃)0--15℃/min

              最大可控降温范围: 

              (1285~500℃)0--10℃/min

              设备总外形尺寸: 

              根据设备配置不同,尺寸有所不同 

              四.主要构成:

              1、

              设备主机            

              2、

              加热系统

              3、

              排风冷却系统 

              4、

              排毒箱(和设备主机做为一体)

              5、

              净化工作台

              6、

              控制系统

              7、

              自动碳化硅浆推拉舟机构


               

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