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              低压扩散炉的主要用途

              编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2020-04-17

                      低压扩散炉的扩散现象是指材料分子从高浓度区转移到低浓度区直至均匀分布,扩散速率与材料浓度梯度成正比的现象。扩散是由分子的热运动引起的传质现象,主要原因是密度差。目前认为,分子的热运动不会在相对零度下发生。诸如扩散现象之类的大量事实表明,所有物质的分子一直在不规则地运动。

                      通过对全球光伏产业设备供应商的持续研究,发现低压扩散技术的优势非常明显。在行业技术人员的不懈努力下,低压扩散已逐渐成为下一代高性能扩散炉的核心技术。

                      当156-162mm的电池容量达到1000个/管甚至更高时,扩散块的电阻均匀性仍会优于4%。与常压扩散炉相比,在不增加工艺时间的情况下,芯片的平均能耗降低了50%以上,化学消耗降低了50%以上。质量传播是一种环保的生产方法。但是,反应的尾气富含五氧化二磷,一旦发生水蒸气,五氧化二磷会迅速生成偏磷酸。偏磷酸甚至可以腐蚀316L不锈钢。在800℃以上的条件下,使用非金属材料密封真空系统是真空系统的核心和难点。

                      真空反应系统的引入增加了气体的分子自由路径,大大减少了湍流的产生,并大大提高了扩散平方电阻的均匀性。这是低压扩散炉的一个优点,它不同于传统的封闭管扩散炉。

                      随着低压扩散炉制造工艺的不断进步和提高,自2016年以来,在晶体硅太阳能电池行业中,几乎所有扩大生产和技术升级的太阳能电池制造商都选择了容量密度更高的低压扩散炉。作为掺杂杂料设备。低压扩散炉已在中国,江苏,浙江,四川,安徽,山东,陕西,台湾和东南亚,马来西亚,泰国,越南甚至埃及的光伏电池制造工厂中广泛使用,以进行高效生产。


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