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              扩散炉石英管如何进行保养清洗?

              编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2020-03-27

                      清洗扩散炉石英管的整个过程应严格按照扩散工序相关工艺安全标准进行。清洗槽内如果存有以前用过的氢氟酸溶液,溶液不脏的情况下可以再往里面加10瓶氢氟酸(由生产人员调配);如果原有的氢氟酸溶液很脏,则应全部排空并洗净槽体,然后通知生产人员配液;如果槽内无以往剩下的氢氟酸溶液,洗净槽体后请生产人员配液。

                      清洗人员必须佩戴好防护眼镜和防酸手套,然后将备用石英管放入石英管清洗机靠近里面的槽内,管口朝向制绒间,管尾指向扩散炉所在方向。拉下防护门,将酸槽清洗时间设定为30min,按下控制面板中'酸槽启动'按钮。

                      酸槽清洗时间的设定:新的石英管只需清洗30min左右。如果是用过的石英管,应以将管内壁上沾附的白色五氧化二磷全部脱落的时间为准。清洗用过的管子,有的要1到2天时间。在酸槽未启动的情况下,应每隔2个小时将石英管旋转180°。

                      清洗人员戴好防护眼镜和手套,将石英管从酸槽取出,轻放入水槽。将水槽内的水排空后用水枪冲洗石英管内外壁约5分钟。冲洗石英管内壁时不要按下'水槽启动'按钮,如果已经按下了应再按下'水槽结束'按钮。然后把水枪拉到石英管管口,从管口向管尾方向冲洗管内壁。冲洗时应仔细认真,不要有残留未冲到的区域。2分钟后,将石英管旋转180°,再用同样方式冲洗2分钟。

                      将纯水注入水槽,水位以能没过石英管尾部的中间通气管为准。拉下防护门,然后将水槽清洗时间设定为30min,按下'水槽启动'按钮。重复第6步,再清洗一遍。

                      水槽结束后,将水槽内的水排空。然后,参照上面第5步的方法用水枪冲洗石英管内/外壁。重点冲洗内壁。约5min后用水枪冲洗管尾的四个小通气管,重点同样是管内壁。冲洗2分钟后再继续从管口方向冲洗。此步清洗时间应不少于15min,以管内外壁无颗粒状磷化物残留为清洗干净的标志。清洗好后将石英管放到净化间的指定位置,下面垫上专用的泡沫。将管口和尾管用专用铝箔密封。

                      扩散炉石英管清洗过程中需要注意轻拿轻放,切勿与清洗槽或其他物品发生碰撞或接触。放入槽内的位置应以管口抵住槽体右侧底部的限位转子为准。清洗后如果超过1星期未使用,应重新进行清洗。    搬运过程中不能抓尾部的小管,清洗后也不能抓管口。

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