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              太阳能扩散炉管的清洗方法

              编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2020-03-11

                      严格按照扩散程序的相关过程安全标准执行清洁太阳能扩散炉石英管的整个过程。清洁箱中是否使用了氢氟酸溶液。如果溶液不脏,则可以再添加10瓶氢氟酸(由生产人员部署)。如果氢氟酸溶液变脏,应将容器完全排空并清洗,然后通知生产人员分配液体;如果罐中以前没有残留的氢氟酸溶液,请清洁罐并请生产人员分配液体。

                      清洁人员必须戴上防护眼镜和耐酸手套,然后将备用的太阳能扩散炉石英管放入石英管清洁机内部附近的凹槽中,喷嘴朝向绒布室,并且喷嘴的一端管指向扩散炉的方向。下拉防护门,将酸槽清洁时间设置为30分钟,然后单击控制面板中的“酸槽启动”按钮。

                      设定酸槽清洗时间:新的石英管仅需要清洗约30分钟。如果是用过的石英管,则应以完全替换粘附在管内壁上的五氧化二磷所需的时间为准。一些用过的试管需要1-2天才能清洁。当酸槽未激活时,石英管应每2小时旋转180°。

                      清洁人员戴上防护眼镜和手套,从太阳能扩散炉的酸槽中取出石英管,然后将其轻轻放入水槽中。将水箱中的水排干后,用水枪冲洗石英管的内壁和外壁约5分钟。冲洗石英管内壁时,请勿单击“ Sink Start”按钮。如果已经单击,请单击“接收器结束”按钮。然后将水枪拉到石英管的嘴,并从嘴到管的末端冲洗管的内壁。清洗时,请注意不要留下任何未清洗的区域。 2分钟后,将石英管旋转180°,并用相同的方法冲洗2分钟。向水箱中注入纯净水,水位受太阳能扩散炉石英管末端的中间通风管的影响。拉下防护门,然后将水槽清洁时间设置为30分钟,然后单击“水槽启动”按钮。重复步骤并再次清洁。

                      水箱结束后,将水箱中的水排干。然后,按照上述步骤5中的方法用水枪冲洗石英管的内壁/外壁。专注于冲洗内壁。约5分钟后,用水枪冲洗管道末端的四个小通风管。 2分钟后,继续从喷嘴方向冲洗。此步骤中的清洁时间应超过15分钟,这是清洁的标志,管内壁上没有颗粒状的磷残留物被清洁。清洁后,将太阳能扩散炉的石英管放在洁净室中的指定位置,并在底部放置特殊的泡沫。用特殊的铝箔密封喷嘴和尾管。

                      注意:在将石英管运输到太阳能电池或从太阳能电池中取出石英管时,应使用特殊的塑料套。应对太阳能扩散炉的石英管小心轻放,不得与清洗槽或其他物体碰撞或接触。连接储罐的位置应基于喷嘴相对于储罐右端的极限。清洁后,如果超过一周未使用,则应再次清洁。在搬运过程中,请勿抓住尾部的小管,清洁后也请勿抓住喷嘴。

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