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              什么情况下使用扩散炉?

              编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2020-03-03

                      扩散炉是一种带有圆柱形加热室的热处理装置,可水平或垂直定向。由于等间距表面散热,圆形工件可以加工出良好的热均匀性。它们也可以在部分真空条件下工作,以确保整个操作过程中的大气控制。这对于确保气体扩散到固体半导体中而不引入不需要的杂质的好条件至关重要。

                      扩散是分子从高浓度区向低浓度区移动的过程。在日常生活中,它通常发生在液体、气体和固体之间。该工艺是由扩散炉开发的,它可以提高工件的温度,并引入气体元素来促进固态扩散。

                      当一种物质的分子在原子水平上与主要固体混合时,就会发生固体扩散。这种扩散机制多年来一直是一种科学的好奇心,但后来成为半导体制造业中不可或缺的过程。

                      当半导体晶圆在扩散炉中加工时,它被加热到设定的温度,并受到称为气相的气体分子流的影响。在原子水平上,相扩散到固体基体,称为掺杂。

                      像硅这样的半导体在绝缘体和导体之间表现出独特的电子特性。引入掺杂剂来调节这些电子特性,使之适合半导体器件制造。它们扩散到晶格中并固定在原子结构中,产生过多或不足的电子或电子空穴。这就是改变半导体芯片导电性的原因。

                      磷(P)等元素经常被用来增加芯片原子结构中的自由电子数量,从而产生所谓的n型半导体。相比之下,镓(GA)可以用来引入电子受体,从而产生额外的电子空穴能级。这是一种n型半导体。

                      n型和p型半导体之间存在着许多功能上的差异,目前使用的化学变化和作为本征半导体的掺杂探索也是如此。如果您想了解更多关于扩散炉在电子制造中的应用,请访问我们的官方网站。

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