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              低压扩散器的相关知识

              编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2020-03-03

                      低压扩散炉的扩散现象是指材料分子从高浓度区转移到低浓度区直至均匀分布,扩散速率与材料浓度梯度成正比的现象。扩散是分子热运动引起的一种传质现象,其主要原因是密度差。目前认为分子的热运动不是在相对零度时发生的。扩散现象等大量事实表明,所有物质的分子都在不断地不规则运动。

                      通过对世界光伏产业设备供应商的不断研究发现,低压扩散技术的优势非常明显。在业内技术人员的不懈努力下,低压扩散已逐渐成为下一代高性能扩散炉的核心技术。

                      当156-162mm电池容量达到1000片/管甚至更高时,扩散块电阻均匀性仍优于4%。与常压扩散炉相比,在不增加工艺时间的情况下,芯片平均能耗降低50%以上,化学耗降低50%以上。优质扩散是环保生产方式的。

                      但反应尾气中富含五氧化二磷,遇水蒸气可迅速生成偏磷酸。偏磷酸甚至可以腐蚀316L不锈钢。在800℃以上的条件下,采用非金属材料密封真空系统是真空系统的核心和难点。

                      真空反应系统的引入,增加了气体的分子自由程,大大减少了湍流的产生,大大提高了扩散方阻的均匀性,这是低压扩散炉不同于传统的闭管扩散炉的优点。

                      随着低压扩散炉制造技术的不断进步和完善,自2016年以来,在晶体硅太阳能电池产业中,几乎所有扩大生产和技术升级的太阳能电池制造商都选择了容量密度更高的低压扩散炉作为掺杂材料设备。低压扩散炉已广泛应用于中国的江苏、浙江、四川、安徽、山东、陕西、台湾以及东南亚的马来西亚、泰国、越南甚至埃及的光伏电池制造厂进行高效生产。

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