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              真空管式炉实际应用操作说明

              编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2019-09-27

              真空管式炉专门设计用于高温、中温、低温CVD工艺。如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等等。?窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温,优质硅钼棒加热,优质99刚玉管炉膛,气体采用浮子流量计流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制,有效的实现温度的控制。设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想的科研设备。

              真空管式炉各独立的加热区均配备有热电偶、数显式智能调节器(PID)和可控硅组成的闭环控制系统,可实现自动控温,操作起来也很方便。针对实验的使用要求,装卸料采用间歇式手动装、卸料。装料时将料盒放置在料盆支架上,打开并取出炉管一端的密封端盖,放入带料盒的料盒支架,再将密封端盖安装在炉管法兰上并拧紧卡箍螺栓。然后通人工艺气氛,直到炉管内氧含量达到工艺要求时进行升温烧结。产品烧结工艺完成后,应继续通人小量的工艺气氛并进行降温,直到炉内温度低于工艺要求时,方可打开炉管密封端盖取出产品。

              真空管式炉均系周期作业式。供实验室、工矿企业、科研单位作元素分析测定和一般小型钢件的淬火、退火、回火和电子陶瓷等新材料的加热用。?真空管式炉的成套供应范围有温度控制器、热电偶、补偿导线等。温度控制有继电器控制、可控硅控制二种,由于是间歇式作业炉,一般都采用40段PlD高级可编程控制,能严格控制产品的烧制过程??裳≡窠诘ド瓒ǖ慊?0段可编程控制器。

              真空管式炉安全功能包括可调过温?;ぜ翱徘卸霞尤鹊陌踩低?。节能型的陶瓷纤维材料和双层外壳结构,具有升降温速度快,能耗低??山獗砦露冉档匠N虏⑹沟媚谇晃露确植季?。高品质的加热元件,使用寿命长。?选配:带排气口和惰性气体通入口。40段可编程控制器型号可选择RS-485串口,实现计算机通讯。

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