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              常压闭管扩散炉的形勢如何?

              编辑:青岛育豪微电子设备有限公司  时间:2019-09-02

                      常压闭管扩散炉由于离子注入设备购入和维护成本高昂,对成本更为敏感的晶体硅太阳电池制造行业主要使用卧式扩散炉进行p-n结的制作。卧式扩散炉是太阳能电池生产线前道工序的核心工艺设备,主要用途是对硅片进行掺杂,从而改变和控制硅片内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。它对p-n结的质量和电池片的效率起着至关重要的作用。卧式扩散炉主要有加热炉体、石英管、气路系统,取送料装置等组成。

                      但随着技术不断进步,晶体硅太阳能电池片逐渐向大尺寸、超薄化、更高产能(单次工艺大于1000片/管甚至更高)、更低的表面杂质浓度(表面方块电阻80~120 Ohm)、更好方阻均匀性(均匀性4%以内)和更高能效比方向的发展,传统闭管常压扩散炉已不能满足要求,这些需求将带来对新型扩散技术和设备制造水平的进一步挑战,光伏行业市场亟待新一代的高性能扩散技术。

              ??常规闭管扩散炉的主要问题有:

                      1、常压闭管扩散炉由于不够理想的控制精度,此种闭管扩散炉的方块电阻区间为40~90 Ohm。

                      2、 常压闭管扩散炉由于尾气管均连入一根排酸管道风压,不同管之间干扰很大,压力波动频繁,导致批次间工艺不稳定。

                      3、 由于管内较大的气体量,极易产生湍流,导致分解的五氧化二磷难以均匀涂敷在电池片表面,进而导致方块电阻均匀性差,工艺效果不够理想。

                      4、常压闭管扩散炉由于大量的基础氮气通入,导致通入的氧气和三氯氧磷相对含量很低,不能够精确控制反应物的量。

                      5、为了尽量保证不同管的压力参数,引入充气调压方式,使用闭环控制的充气系统充入尾气管,调节速度慢,而且又浪费10~15L/min的氮气,同时成本相应增加。

                      6、常压闭管扩散炉由于要保证微正压的管内氛围,需要在工艺过程中持续通入10~15 L/min的大氮气,浪费气体。

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