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              公主肚兜下的浑圆被揉捏NP
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              扩散炉

              程控扩散炉

              程控扩散炉
              产品详情:

              一.设备概述:  程控扩散炉采用仪表程序升温控方式操作,该设备用于半导体等行业的3-4英寸工艺硅片扩散、氧化、退火、合金等工艺。 
               
               二.设备类型:

              方式:

              手动操作方式,小工作台面

              可配工艺管数量:

              1-4管系统

              净化台洁净度:

              1000级(10000级厂房)

              气体流量控制:

              均用进口浮子流量计控制

              送取片方式:

              手动推拉

              使用类型:

              3-4寸炉管

              三.设备主要参数:

              工作温度:

              300~1290℃

              炉管有效口径:

              ¢150-190mm

              总功率:

              15-24KVA/管  保温功率:6-10KVA/管

              三相五线制:

              380V±10%,50Hz±10%,次级线不小于35平方高温线

              报警:

              具有超温报警,断偶报警,气体互锁等功能

              恒温区长度及段数:

              400-1100mm(3-5段控温)

              控温精度:

              ±0.5℃(≧1000℃)

              单点温度稳定性:

              ±1℃/72h

              控温方式:

              高精度仪表程序控制

              热偶类型:

              热电偶采用K/S/R型,每管Spike 4-6支热偶

              最大可控升温范围:

              (500~1285℃)0--15℃/min

              最大可控降温范围:

              (500~1285℃)0--10℃/min

              设备总外形尺寸:

              根据设备配置不同,尺寸有所不同

              四.主要构成:

              1、

              设备主机

              2、

              加热系统

              3、

              排风冷却系统

              4、

              排毒箱(和设备主机做为一体)

              5、

              控制系统

              1. 设备主要特点和优势

               1★程序可以实现手/自动工作,在停电或中途?;?,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间; 
               2★冷端采用PT100检测环境温度进行温度补偿,避免环境温度变化,对炉膛温度产生影响,避免层间干扰; 
               3★气体流量控制精确,采用浮子流量计控制; 
               4★具有多种报警功能及安全?;すδ?;
              5★恒温区手动调整,可准确控制反应管的实际工艺温度;


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