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              公主肚兜下的浑圆被揉捏NP
              电话:400-0532-778
              合金炉

              LED外延片退火炉

              LED外延片退火炉
              产品详情:

              ◆ 全中文操作界面,可编辑参数,操作简便                 

              ◆ 可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步 

              ◆ 工艺曲线的自动运行控制功能                           

              ◆ 自动运行中可暂停/继续运行功能             

              ◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能             

              ◆ 智能升降温斜率控制功能

              ◆ PID参数自整定功能                 

              ◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能

              ◆ 系统故障的检测与报警功能                             

              ◆ 系统误差修正(单点或多点动态修正功能)

              ◆ 智能悬臂推拉舟控制功能                                

              ◆ 工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器)

              ◆ 停电后断点继续运行功能等等                           

               该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。 

              ◆ 工作温度:200-1000℃(最高温度小于800℃)

              ◆控制精度:≤±1.0℃

              ◆恒温区长度:定制

              ◆开机重复性:≤±1.0℃

              ◆冷态真空度:10-1Pa

              ◆石英真空室内径:定制

              ◆控制仪表:日本岛电公司原装进口控温仪

              ◆环境温度:10~45℃

              ◆相对湿度:≤85%

              ◆供电电源:三相五线380V±10% 50Hz

              ◆可用气氛:H2,N2 

              ★可配工艺管数量:1~4管/台;       

              ★工作温度范围:200~1000℃;

              ★恒温区长度及精度:300~900mm     600~1000℃±0.5℃;

              ★单点温度稳定性:600~1000℃±0.5℃/24h;    

              ★最大可控升温速度:15℃/min

              ★最大降温速度:15℃/min 


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